第一一一六章 不同意（1/3）

GCA当时投入研发EUV技术项目的3000万美元经费，可以收购ASML40%的股权，不是一笔小数目！

GCA当时账上的现金流只剩下300多万美元，公司要花钱的地方多的是。

孙健前世在互联网上看过不少有关ASMLEUV光刻机的文章，作者纷纷感叹研发和生产EUV光刻机之难难于上青天，被称为外星人的科技水准，是迄今为止人类科技领域所能达到的最尖端技术，没有之一。

为了打破封锁，投入巨资，举国之力也没有看见成果。

前世90年代末，干式193n】

英特尔当时打算邀请光刻机行业第一、第二位的Nikon和ASML加入EUVLLC，但美国政府担心最前沿的光刻机技术落入外国公司手中，反对Nikon和ASML加入。

ASML为了表现诚意，同意在美国建立一所工厂和一个研发中心，以此满足所有美国本土的产能需求，另外，还保证55%的零部件均从美国供应商处采购，并接受定期审查，做出多项让步后，最后成功加入EUVLLC，能够享受其基础研究成果，Nikon却没有机会加入，失去了同ASML竞争的机会。

几年之后，终于论证了EUV的可行性，于是EUVLLC的使命完成，公司解散，各个成员踏上独自研发之路。

ASML加入EUVLLC后，享受到的研究成果大大加快了其EUV的研发进度，2005年摩尔定律陷入停滞，极紫外光刻技术被认为是制程突破10n程工艺的关键，但由于EUV光刻机几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限，光源功率要求极高，透镜和反射镜系统也极致精密，还需要真空环境，配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高，别说是对日本与荷兰，就算是科技全球第一的美国，举国之力独自突破这项世界最尖端的技术，也是痴人说梦。

由于技术难度极高，需要巨额的研发资金，尼康和佳能只得选择放弃，彻底沦为中低端光刻机厂商。

ASML成为唯一的候选人！

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